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所属分类:打印机暂停
安装打印机驱动错误,MEMS扫描微镜具有的作用:任何MEMS芯片的量产从来都不是简单的事,较主要是自身在设计与制造的技术和经验的积累没有捷径可寻。一维MEMS扫描镜(直径)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。同时,可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。
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